中國芯 芯夢想——華虹無錫12英寸集成電路生產(chǎn)線項目 光刻機成功搬入與華虹無錫純廢水項目UPW順利出水

時間:2019-06-06

2019年6月6日,中電二公司華虹無錫12英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線項目首批光刻機成功搬入,子公司中電環(huán)境華虹無錫純廢水項目順利舉行UPW出水儀式!

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【光刻機搬入儀式】

2019年6月6日上午10點,華虹無錫12英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線項目首批光刻機成功搬入!這是國內(nèi)第一條完全由中國企業(yè)自主設(shè)計建造的高等級12寸芯片廠,從開工到設(shè)備搬入僅14個月,我們再次打破全球半導(dǎo)體行業(yè)最快建廠速度!

光刻機搬入儀式由華虹宏力總裁、黨委書記唐均君主持。出席本次儀式的有江蘇省委常委、無錫市委書記李小敏,市委副書記、市長黃欽,副市長、高新區(qū)黨工委書記王進健,華虹集團董事長、黨委書記張素心、總裁王靖,十一科技董事長趙振元,上海建工集團黨委副書記、總裁卞家駿,設(shè)備供應(yīng)商代表阿斯麥公司(ASML)全球資深副總裁Bert Savonije,中電二公司總經(jīng)理楊良生、中電二公司高級副總經(jīng)理夏風(fēng)、中電二公司上海公司總經(jīng)理吳學(xué)剛等參建單位、設(shè)備廠商500余位嘉賓共同見證這一重大里程碑。

今天的成功搬入,是我們同業(yè)主、總包、監(jiān)理等各參建方齊心協(xié)力、精誠合作、攻堅克難的共同成果!

【UPW出水儀式】

下午14點08分,子公司中電環(huán)境華虹無錫純廢水項目順利舉行UPW出水儀式。

出席儀式的有華虹宏力執(zhí)行副總裁徐偉,華虹宏力副總裁、華虹7廠廠長倪立華,華虹7廠動力部部長陶云敏,華虹7廠動力部水氣化科長蔡志明,蘇州栗田營業(yè)部門長羅炯,項目推進部中國區(qū)科長安藤一成,華虹無錫項目十一科技項目經(jīng)理繆克旭,華虹無錫栗田工業(yè)項目經(jīng)理曾進,中電環(huán)境副總經(jīng)理田宇鳴等領(lǐng)導(dǎo)。

華虹無錫純廢水項目自2019年1月5日安裝第一塊鋼板開始,到出水共經(jīng)歷了135天。盡管過程中經(jīng)歷許多磨難,但項目管理團隊依托項目策劃,充分協(xié)調(diào)采購、勞務(wù)等資源配置,過程管控以“安全是前提,質(zhì)量是基礎(chǔ),進度是關(guān)鍵”為方針,憑借專注精深、開放創(chuàng)新的攻堅理念,始終堅持精益求精、專業(yè)高效的工作要求,克服一切困難,整合一切資源,從而保證了UPW出水,且比原計劃提前了10天。

【項目回顧】

“芯片”是被喻為“工業(yè)糧食”和整機設(shè)備“心臟”的核心產(chǎn)品。華虹無錫項目是華虹集團在上海市域以外布局的第一個半導(dǎo)體研發(fā)和制造基地,也是無錫歷史上單體投資規(guī)模最大的項目。項目建成后將有力推動無錫集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,使無錫成為全國集成電路高端生產(chǎn)線最密集的地區(qū)之一,同時成為國家集成電路產(chǎn)業(yè)的新高地!

本項目總投資超過100億美元,占地700余畝。一期總投資約25億美元,Clean Room生產(chǎn)區(qū)面積約27000m2,工藝等級90-65/55納米,月產(chǎn)能40K,用于支持5G和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用。我公司承擔(dān)了本項目最大的潔凈室及一般機電系統(tǒng)(F01)、公共動力系統(tǒng)(F05)、純廢水(F04)三大核心系統(tǒng)包。

我們有幸能夠參建這一偉大項目,深感責(zé)任重大、使命光榮!為表達我們的信心和決心,從2018年10月正式入場啟動開始,公司領(lǐng)導(dǎo)班子全員深度參與,調(diào)集公司精干力量,協(xié)調(diào)總部最優(yōu)資源,全力支持項目建設(shè)。始終貫徹張素心董事長“安全是前提、質(zhì)量是基礎(chǔ)、進度是關(guān)鍵”的指示,以最高的標(biāo)準(zhǔn)、最嚴(yán)的要求、最硬的作風(fēng),誓將本項目打造成業(yè)內(nèi)矚目的“精品工程”,回報華虹集團對我們的信任和支持!

2019年1月1日開始接收施工作業(yè)面,2月26日潔凈室完成封閉啟動一級潔凈管制,3月27日完成正壓送風(fēng)啟動二級潔凈管制,4月15日一般排氣系統(tǒng)正式啟動,5月1日純廢水包ROW完成供水,5月10日CUB冰機啟動給Clean Room供水。5月15日啟動三級潔凈管制同步開始進行溫濕度、潔凈度、VOC、AMC等系統(tǒng)調(diào)試測試工作。我公司作為潔凈室系統(tǒng)功能包,從深化設(shè)計到通過NEBB測試以及第三方AMC測試,6月4日各項技術(shù)指標(biāo)全部達成并滿足光刻機搬入和安裝條件,歷時僅155天!

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華虹無錫項目的成功實施,為公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域的業(yè)績中留下了濃墨重彩的一筆。為我們在尖端半導(dǎo)體工廠的設(shè)計、采購、施工積累了寶貴的經(jīng)驗,充分的展現(xiàn)了公司的整體技術(shù)能力!

最后,再次向華虹集團、華虹無錫表示熱烈的祝賀!對華虹無錫項目業(yè)主、總包、監(jiān)理等所有參建單位和社會各界朋友給予我公司的幫助表示衷心的感謝!

預(yù)祝華虹(無錫)半導(dǎo)體有限公司早日竣工投產(chǎn)!